LPCVD炉管工艺中断
                  对策： 1 根据提示的中断信息，找出中断的真正原因；
                         2．根据具体情况，确定返工时间的多少，将返工时间减去1-2分钟，作为 气体开关时的补偿。特别注意的是：在返工以前园片必须经清洗，以防产生颗粒。

6.2 LPCVD炉管颗粒问题
    对策：1 分析测量结果，排除测量的影响;
          2．若是Si3N4颗粒,要看颗粒片前是否放了挡片，挡片是否干净;
3.对炉管进行PURGE后再做颗粒试炉；
          4. 检查设备状态，清洗炉管和陪片.
         
6.3均匀性问题
对策：1 检查温度、压力、气体流量等是否正常，否则更换流量计、清洗压力计、重新拉恒温区。
      2 可以调整各区的温度，气体的流量，淀积时间以调整均匀性